inficon熱電離真空計(jì) ATM 至超高真空雙規(guī) BPG552

inficon熱電離真空計(jì)BPG552技術(shù)特點(diǎn)：

對于需要測量范圍從 UHV (5 x10 -10 ) 到 ATM (1000 mbar) 的應(yīng)用，Trigon™ 系列包括雙技術(shù) BPG552 儀表。BPG552 由 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和經(jīng)典、堅(jiān)固且可靠的 Pirani 傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲提供的精度、可重復(fù)性和使用壽命。

inficon熱電離真空計(jì)BPG552優(yōu)點(diǎn)

ü 雙量規(guī)（2 個(gè)傳感元件）可實(shí)現(xiàn)寬測量范圍、降低成本并節(jié)省空間

ü Bayard-Alpert 系統(tǒng)的 2 根燈絲

ü 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)以避免燈絲過早燒毀

ü 自動高真空皮拉尼調(diào)節(jié)減少了操作員干預(yù)

ü 電隔離電子器件以避免雜散電流

ü 滑動排放模式可避免切換排放流時(shí)壓力跳躍和凍結(jié)

ü 由于可拆卸校準(zhǔn)數(shù)據(jù)芯片，可烘烤性更長

ü 設(shè)定點(diǎn)繼電器

ü 明亮、大尺寸 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面

ü 模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT®

ü 可與 VGC50x 控制器系列結(jié)合使用

ü 向后兼容 BPG402

ü RoHS 合規(guī)性

inficon熱電離真空計(jì)BPG552典型應(yīng)用

· 半導(dǎo)體工藝中的壓力測量

· 工業(yè)涂料

· 低至真空范圍系統(tǒng)的一般真空測量和控制

inficon熱電離真空計(jì)BPG552規(guī)格

測量范圍（空氣、O 2、CO、N 2）  5×10 -10 … 1000 毫巴

準(zhǔn)確性  

1×10 -8 … 1×10 -2毫巴       ±15 讀數(shù)

1 x 10 -2毫巴 … 1000 毫巴     讀數(shù)的±30%

重復(fù)性：讀數(shù)的 5%，10 -8 … 10 -2 mbar（穩(wěn)定 10 分鐘后）

暴露于真空的材料 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、Ni、鎢

inficon熱電離真空計(jì)BPG552備件零件號 描述

354-420   BPG552 備用傳感器頭，KF25

354-421     BPG552 備用傳感器頭，CF40